CDW-3000S-DT激光(guāng)平面幹涉儀是一款新型的(de)非接觸高(gāo)精度無損光(guāng)學表面測量設備。它基于菲索幹涉原理(lǐ),通(tōng)過分(fēn)析幹涉條紋來(lái)确定光(guāng)學表面面形。該設備集成了(le)先進的(de)光(guāng)學、機械和(hé)電子技術,具有不損傷被測物(wù)品、測量精度高(gāo)、測量時(shí)間短的(de)特點;實現了(le)對(duì)準光(guāng)路和(hé)成像光(guāng)路的(de)電子切換,方便了(le)用(yòng)戶的(de)使用(yòng)。
CDW-3000S-DT可(kě)以用(yòng)于檢測高(gāo)精度光(guāng)學元器件、光(guāng)盤、硬盤等,适用(yòng)于車間加工過程的(de)在線檢測,可(kě)整盤檢測。在科學研究、精密器件加工、光(guāng)學零件測試等領域有著(zhe)廣泛的(de)應用(yòng)。
CDW-3000S-DT主要技術指标
技術指标 |
參數值 |
測量原理(lǐ) |
菲索幹涉原理(lǐ) |
顯示方式 |
CCD顯示 |
标準參照(zhào)鏡面形精度 |
P-V:λ/10 |
光(guāng)源 |
He-Ne激光(guāng)器 |
波長(cháng) |
632.8nm |
最大(dà)測量口徑 |
Ф300mm |
電源 |
AC210~230V 50~60Hz |
最佳工作溫度 |
20~25℃ |
外形尺寸 |
500×600×1200mm |
質量 |
約150kg |
配置清單
序号 |
型号、規格、名稱 |
數量 |
1 |
CDW-3000S-DT激光(guāng)平面幹涉儀主機 |
1台 |
2 |
氦氖激光(guāng)電源 |
1套 |
3 |
高(gāo)精度機械調節架 |
1套 |
4 |
标準Ф300mm光(guāng)學平面樣闆 |
1套 |
5 |
DELL計算(suàn)機 |
1台 |
6 |
14″液晶顯示屏 |
1台 |
一 ,主要數據
第一标準平面(A面),不鍍膜。工作直徑:D1=φ285mm不平度小于0.05um
2.第二标準平面(B面),不鍍膜。工作直徑:D2=φ285mm 不平度小于0.08um
3.準直系統:孔徑F/2.8,工作直徑:D0=φ285mm 焦距:f=400mm
4.測微目鏡:焦距f=16.7mm,放大(dà)倍數β=15X,視場(chǎng)角2W=40°,成像物(wù)鏡:1.D=4.5 II.D=7 III.D=10 F=15 f=23 f=37
5.工作波長(cháng):632.8nm
6.幹涉室尺寸:深400寬500*400mm。
7.光(guāng)源規格:激光(guāng)ZN18(He-Ne)。
8.儀器的(de)外形尺寸:長(cháng)*寬*高(gāo) 500*600*1200mm
9.儀器重量:150公斤