1. 第一标準平面（A面），工作直徑D1=Φ146mm，平面的(de)面形偏差小于0.03μm(λ/20)

2. 第二标準平面（B面），工作直徑D2=Φ140mm，平面的(de)面形偏差小于0.03μm(λ/20)

3. 準直系統－－－－－－－－－－－－－－－－－工作直徑Φ146mm，焦距 f = 400mm

4. 光(guāng)源規格－－－－－－－－－－－－－－－－－激光(guāng)ZN18(He-Ne)

5. 幹涉室尺寸－－－－－－－－－－－－－－－－Φ480×380×285mm

選配件一：
  精密升降工作台（适用(yòng)GⅠ、GⅡ型）

用(yòng)途：
主要用(yòng)于平晶、平行平晶等非鍍膜面高(gāo)精度平面度的(de)測量與檢定以及儀器采用(yòng)鈉光(guāng)或汞光(guāng)照(zhào)明(míng)時(shí)的(de)測量。

選配件二：
  透檢工作台（适用(yòng)GⅠ型）

用(yòng)途：
主要用(yòng)于超薄平行平闆的(de)波前誤差測量、光(guāng)學平闆微小楔角相對(duì)幹涉測量以及光(guāng)學材料折射率均勻性的(de)偏差判斷。

選配件三：
  高(gāo)反射面測量工作台（适用(yòng)GⅠ、GⅡ、GⅢ型）

用(yòng)途：
主要用(yòng)于鍍反射膜及高(gāo)折射率材料（如矽、鍺等材料）表面精度的(de)測量與檢定。

選配件四：
  顯示監控系統（适用(yòng)GⅠ型）

用(yòng)途：
顯示監控系統的(de)應用(yòng)，可(kě)減輕操作者的(de)勞動強度，并可(kě)實施多(duō)人(rén)判讀與分(fēn)析，以達到教學與監控的(de)目的(de)。

選配件五：
  計算(suàn)機影(yǐng)像系統（适用(yòng)GⅠ、GⅡ、GⅢ型）

用(yòng)途：
影(yǐng)像系統的(de)應用(yòng)，可(kě)将被檢測鏡面的(de)原始資料通(tōng)過計算(suàn)機保存和(hé)傳輸，以達到資料存檔及遠(yuǎn)程監控、驗收評定質量的(de)目的(de)。

選配件六：
  倍率成像測微系統（适用(yòng)GⅠ、GⅡ、GⅢ型）

用(yòng)途：
  主要用(yòng)于目視精确量值的(de)索得(de)及小型被測件幹涉條紋按要求放大(dà)測量與判讀。

技術參數：
  測微目鏡放大(dà)率15X
   倍率成像測微目鏡适用(yòng)範圍見下(xià)表：