JDS-1S數字式立式接觸式幹涉儀,是對(duì)傳統的(de)立式接觸式幹涉儀的(de)數字化(huà)升級,通(tōng)過圖像采集系統對(duì)儀器檢測過程中的(de)幹涉圖像移動信息采集并處裏,再根據幹涉檢測相關算(suàn)法計算(suàn)出幹涉條紋的(de)位置移動量,即爲被測物(wù)與标準件之間的(de)公差尺寸大(dà)小。
一. 技術規格
1. 被測件最大(dà)長(cháng)度:150mm
2. 工作台行程:5 mm
3. 測杆移動範圍:0.5mm
4. 分(fēn)劃闆刻度範圍:±50格
5. 直接測量範圍:5-20μm
6. 分(fēn)度值調整範圍:0.05-0.2 μm
7. 推薦使用(yòng)分(fēn)度值:0.1 μm
8. 測量壓力:(1.5±0.1) N
9. 儀器示值穩定性:0.02 μm
10. 儀器誤差:數字顯示
11. 最大(dà)測量誤差:±(0.03+1.5ni △λ/λ)um
n 是格數, i是格值,λ是濾光(guāng)片中心波長(cháng),△λ是濾光(guāng)片波長(cháng)誤差
12. 儀器體積:280×500×700 mm
13. 儀器重量:40 kg
二. 标準配置
1. 接觸式幹涉儀
2. 五筋平台、輔助台、平面平台、瑪瑙工作台
3. 平面測帽、小球面測帽
4. 平行平晶
5. 測力裝置
6. 調壓變壓器、照(zhào)明(míng)器
7. 測杆提升器
産品合格證、保修卡及說明(míng)書(shū)