021-39530106
金相顯微鏡(日本)
STM7 奧林(lín)巴斯測量顯微鏡

STM7顯微鏡具有優良的(de)多(duō)用(yòng)途性,能夠以亞微米精度實現對(duì)零部件和(hé)電氣組件的(de)高(gāo)性能三軸測量。無論待測樣品是大(dà)的(de)還(hái)是小的(de),測量内容是簡單的(de)還(hái)是複雜(zá)的(de),測量人(rén)員(yuán)

是新手還(hái)是專家,奧林(lín)巴斯STM7系列就是能滿足您需求、爲您量身打造的(de)測量顯微鏡産品。

STM7 通(tōng)過整合光(guāng)學顯微鏡測量能力實現**測量多(duō)年的(de)顯微鏡開發經驗成就了(le)好的(de)的(de)觀察性能

服務熱(rè)線:021-39530106
産品詳情

STM7顯微鏡具有優良的(de)多(duō)用(yòng)途性,能夠以亞微米精度實現對(duì)零部件和(hé)電氣組件的(de)高(gāo)性能三軸測量。無論待測樣品是大(dà)的(de)還(hái)是小的(de),測量内容是簡單的(de)還(hái)是複雜(zá)的(de),測量人(rén)員(yuán)

是新手還(hái)是專家,奧林(lín)巴斯STM7系列就是能滿足您需求、爲您量身打造的(de)測量顯微鏡産品。

STM7 通(tōng)過整合光(guāng)學顯微鏡測量能力實現**測量多(duō)年的(de)顯微鏡開發經驗成就了(le)好的(de)的(de)觀察性能

STM7系列采用(yòng)了(le)當前光(guāng)學顯微鏡中所使用(yòng)的(de)UIS2無限遠(yuǎn)校正光(guāng)學系統。因此,觀察到的(de)圖像具有高(gāo)分(fēn)辨率和(hé)高(gāo)對(duì)比度,此外,像差也(yě)被完全消除,以确保實現對(duì)微小細節的(de)高(gāo)精度測量。

      微信圖片_20201127182731.png       

花崗岩精雕細琢而成的(de)載物(wù)台基座增強了(le)測量的(de)可(kě)靠性

爲了(le)進一步保證測量精度,STM7系列采用(yòng)了(le)一個(gè)配備花崗岩基座的(de)高(gāo)度耐用(yòng)和(hé)防振動的(de)鏡架。由于花崗岩的(de)高(gāo)穩定性,使測量可(kě)到達亞微米水(shuǐ)平,同時(shí)确保降低誤差。


STM7-LF FEM 分(fēn)析

作爲高(gāo)度測量的(de)先鋒,繼續提供簡單易操作的(de)高(gāo)精度3軸測量

随著(zhe)現代制造技術日益小型化(huà)和(hé)精密化(huà),高(gāo)精度測量也(yě)日趨重要——不僅是XY軸平面的(de)測量,而且Z軸方向的(de)高(gāo)精度測量也(yě)成爲必須。奧林(lín)巴斯成爲*成功開發了(le)測量顯微鏡用(yòng)采用(yòng)主動

反射、共聚焦方法的(de)自動聚焦系統的(de)公司,以此響應了(le)這(zhè)種與日俱增的(de)需求。

                                                                                                                主動反射,共聚焦自動聚焦系統光(guāng)路

嚴格的(de)可(kě)追溯系統确保品質可(kě)靠

奧林(lín)巴斯通(tōng)過一個(gè)嚴格的(de)可(kě)追溯系統控制測量顯微鏡的(de)**度。
并且在安裝系統時(shí)奧林(lín)巴斯也(yě)提供了(le)可(kě)追溯的(de)校準服務。


                                                                                                                               測量顯微鏡溯源系統

STM7在設計上非常重視易用(yòng)性

提供适合您樣品尺寸的(de)載物(wù)台

常見問題

u短測量行程無法滿足較大(dà)樣品的(de)測量需求。

u目前爲止,大(dà)型載物(wù)台在X軸方向提供了(le)足夠的(de)測量行程,但是Y軸的(de)行程仍然較小。

在測量過程中需要通(tōng)過旋轉樣品來(lái)補償比X軸覆蓋範圍要短的(de)Y軸行程,這(zhè)樣的(de)做(zuò)法費

事費時(shí),

效率不高(gāo)。

u由于可(kě)測量的(de)範圍窄,無法将數量較多(duō)的(de)樣品排列在載物(wù)台上,以實現一次性同時(shí)測量。

 

STM7解決方案

u共有四種正方形測量行程的(de)載物(wù)台可(kě)供選用(yòng)(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100mm,

200 mm x 200 mm, 和(hé)300 mm x 300 mm)。 不管是大(dà)的(de)樣品還(hái)是小的(de)樣品,總有一款載

物(wù)台會适合您要測量的(de)樣品。

u采用(yòng)離合器系統可(kě)以在粗調和(hé)微調之間實現快(kuài)速切換。具備了(le)這(zhè)種切換功能之後,載物(wù)台

也(yě)可(kě)以沿著(zhe)X軸和(hé)Y軸方向迅速移動,并且可(kě)以在XY平面上自由穿梭。

u300 mm長(cháng)的(de)方形載物(wù)台在X軸和(hé)Y軸方向上可(kě)以提供相同的(de)測量行程,這(zhè)意味著(zhe)可(kě)以不旋

轉樣品就實現大(dà)型樣品的(de)全部測量,比如300 mm的(de)晶圓和(hé)印刷電路闆。

                      STM7-CS50                              STM7-CS100                                   STM7-CS200                              STM7-CS300

 

使用(yòng)相同的(de)顯微鏡進行低倍率和(hé)高(gāo)倍率觀察

常見問題

u大(dà)部分(fēn)傳統的(de)測量顯微鏡隻可(kě)以專用(yòng)測量物(wù)鏡或專用(yòng)金相物(wù)鏡,無法同時(shí)滿足多(duō)種觀

察要求

STM7解決方案

uSTM7可(kě)以通(tōng)過安裝一個(gè)測量物(wù)鏡适配器使用(yòng)測量物(wù)鏡,而更換爲物(wù)鏡轉盤後,便可(kě)使用(yòng)金相

物(wù)鏡。這(zhè)意味著(zhe),STM7将金相光(guāng)學系統和(hé)測量光(guāng)學系統同時(shí)結合在一台測量顯微鏡中。通(tōng)過這(zhè)

種方式,無論是測量大(dà)型樣品還(hái)是精細樣品,或是表面高(gāo)度差異大(dà)的(de)樣品,STM7系列都可(kě)以對(duì)

應并協助用(yòng)戶選擇*佳的(de)觀察方法。


測量物(wù)鏡
由于測量物(wù)鏡具有較長(cháng)的(de)工作距離,因此可(kě)以在對(duì)表面起伏較大(dà)的(de)樣品進行聚焦的(de)時(shí)候,無需擔心物(wù)鏡與樣品之間發生接觸。此外,借助測量物(wù)鏡的(de)低倍率能力,可(kě)以一次觀察到較大(dà)

的(de)視場(chǎng)。



金相物(wù)鏡可(kě)以得(de)到和(hé)光(guāng)學顯微鏡相媲美(měi)的(de)高(gāo)倍率和(hé)高(gāo)分(fēn)辨率觀察能力。更重要的(de)是,在明(míng)場(chǎng)觀察之外還(hái)可(kě)以對(duì)應暗場(chǎng),偏光(guāng)和(hé)微分(fēn)幹涉觀察。


                                       明(míng)場(chǎng)圖像


                                             暗場(chǎng)圖像

手動和(hé)電動調焦模式的(de)選擇
STM7測量顯微鏡系列包括手動調焦和(hé)電動調焦兩個(gè)系列對(duì)于Z軸的(de)上下(xià)調焦,有手動型和(hé)電動型兩種系列供您選擇。請根據樣品和(hé)測量内容選擇符合您需求的(de)機型,而不需要考慮載
物(wù)台的(de)尺寸。所有的(de)鏡架均内置Z軸線性标尺,各種型号STM7都可(kě)以對(duì)應3軸測量。


手動Z軸調焦機型

手動Z軸調焦機型提供了(le)較好成本效益——通(tōng)過操作被廣泛使用(yòng)的(de)調焦旋鈕,可(kě)以快(kuài)速的(de)上下(xià)移動Z軸。爲測量具有各種高(gāo)度樣品的(de)用(yòng)戶

提供了(le)方便。


電動Z軸調焦機型

使用(yòng)電動調焦裝置可(kě)以大(dà)幅提高(gāo)操作性,并減少了(le)進行聚焦和(hé)高(gāo)度測量時(shí)的(de)操作疲勞。粗微調焦的(de)同軸旋鈕設計使使用(yòng)者可(kě)以以習(xí)慣的(de)類似手

動的(de)方式進行操作,同時(shí)電動機型還(hái)可(kě)以配備自動聚焦單元。

控制單元提升了(le)測量顯微鏡的(de)操作性[常見問題]


增加功能時(shí)需要添置額外的(de)操作單元。操作者需要同時(shí)操作多(duō)個(gè)單元而導緻無法高(gāo)效率地進行測量。操作時(shí)也(yě)經常會發生找不到操作單元的(de)情況。

[STM7解決方案]
控制裝置
對(duì)
于STM7測量顯微鏡系列,隻要使用(yòng)單一的(de)操作裝置能夠執行幾乎較多(duō)的(de)測量顯微鏡操作,包括重置計數器、照(zhào)明(míng)控制、調焦和(hé)自動聚焦等功能。爲了(le)提高(gāo)效率和(hé)方便性,您可(kě)以

将裝置放在任何想要放置的(de)位置,并可(kě)以輕松地單手操作。


                            用(yòng)于手動Z軸調焦機型:
                            STM7-HS手動操作裝置


                          用(yòng)于電動Z軸調焦機型:
                        STM7-MCZ電動操作裝置

控制箱
各個(gè)單元的(de)電源和(hé)通(tōng)信均被集成在一個(gè)單一的(de)控制箱中。即使是添加一些可(kě)選功能比如聚焦導航功能也(yě)不需要增加額外的(de)電源裝置,這(zhè)樣的(de)設計可(kě)以較大(dà)程度地減少占用(yòng)工作空間。
提高(gāo)了(le)觀察和(hé)測量效率的(de)光(guāng)源管理(lǐ)器
[常見問題]
傳統測量顯微鏡使用(yòng)的(de)模拟旋鈕調節方式不能實現光(guāng)強的(de)定量控制。這(zhè)樣每次測量時(shí)的(de)光(guāng)強無法保持一緻,導緻測量值也(yě)發
生變化(huà)。
使用(yòng)傳統測量顯微鏡時(shí),每次切換物(wù)鏡後都需要調節光(guāng)強,這(zhè)使得(de)工作流程變的(de)低效。
[STM7解決方案]
能夠定量掌握光(guāng)源亮度的(de)數字式顯示



STM7測量顯微鏡能夠實現光(guāng)強的(de)定量數字化(huà)顯示,保證了(le)能在始終一緻的(de)照(zhào)明(míng)條件下(xià)實施觀察。

物(wù)鏡切換時(shí),無需手動調節光(guāng)強
光(guāng)強度管理(lǐ)器可(kě)
以與編碼物(wù)鏡轉盤配置配套使用(yòng)。帶編碼物(wù)鏡轉盤會自動識别目前使用(yòng)的(de)物(wù)鏡,結合光(guāng)源管理(lǐ)器的(de)預設
值功能,可(kě)以爲每個(gè)物(wù)鏡注冊照(zhào)明(míng)方
式和(hé)光(guāng)強。這(zhè)樣每當切換物(wù)鏡後,可(kě)以自動調節光(guāng)強和(hé)調整照(zhào)明(míng)方式。象以前每次
切換倍率後手動調節光(guāng)強的(de)操作,現在就可(kě)以省略了(le)。


                           5倍
                         強度50


                          20X
                        強度70


                        100X
                      強度120

可(kě)以放置在任意方便使用(yòng)地方的(de)可(kě)拆卸計數器,确保能随時(shí)迅速地檢查測量結果和(hé)設備狀态。
[常見問題]
需要檢查諸如照(zhào)明(míng)狀态等設備運行狀以及測量結果時(shí),因爲是在不同單元上顯示使操作變得(de)非常繁瑣。
[STM7解決方案]
能一目了(le)然确認當前狀态的(de)計數器
計數器帶有顯示設備狀态和(hé)設置的(de)指示燈,可(kě)以簡單的(de)實現對(duì)設備當前設定狀态的(de)确認。X、Y和(hé)Z軸的(de)較小單位可(kě)以在
0.1 μm和(hé)1 μm之間切換,此外,還(hái)可(kě)以在毫米、微米、英寸和(hé)密耳之間切換顯示單位。
可(kě)滿足個(gè)性化(huà)需求自由放置的(de)可(kě)拆卸式計數器
無論是安裝在鏡架上還(hái)是放置在工作台上,可(kě)拆卸式計數器都可(kě)以根據用(yòng)戶的(de)使用(yòng)狀況和(hé)使用(yòng)習(xí)慣放置在合适位置。當用(yòng)戶站
著(zhe)進行測量時(shí),可(kě)以将計數器安裝在和(hé)觀察位置大(dà)緻相同高(gāo)度的(de)鏡架一側,以方便輕松的(de)觀察和(hé)檢查結果。當用(yòng)戶通(tōng)過數碼相
機在顯示器上進行觀察和(hé)測量,或使用(yòng)電動Z軸調焦機型時(shí),隻需将計數器和(hé)操作裝置放在工作台上即可(kě)輕松地坐(zuò)在椅子上進
行作業。


                            計數器安裝在鏡架上


                                   計數器放置在工作台上

高(gāo)度測量:聚焦導航系統

[常見問題]
進行目視測量時(shí),不同的(de)操作者會測得(de)不同的(de)高(gāo)度測量值。此外,這(zhè)種測量方法比較耗時(shí),效率低下(xià)。
[STM7解決方案]
具有較好重複性、簡單的(de)聚焦系統
通(tōng)過将圖案投影(yǐng)在視場(chǎng)範圍内,由操作者确認上下(xià)圖案的(de)重合情況,奧林(lín)巴斯的(de)聚焦導航系統實現了(le)重複性高(gāo)的(de)高(gāo)度測量操作。普通(tōng)的(de)目測觀察進行高(gāo)度測量時(shí),即使是看上去

非常清晰的(de)已經完全合焦的(de)圖像,也(yě)會出現微小誤差。而使用(yòng)STM7的(de)聚焦導航系統,隻需匹配标記便可(kě)進行測量,因此減少了(le)操作者的(de)主觀性對(duì)測量結果造成的(de)影(yǐng)響。
目視高(gāo)度測量


焦點下(xià)方


焦點位置


焦點上方

[STM7解決方案]

奧林(lín)巴斯開發了(le)STM7系列專用(yòng)的(de)自動聚焦單元,該單元在實現快(kuài)速聚焦的(de)同時(shí),保障了(le)對(duì)焦重複性。因此,無論操作
者的(de)經驗如何,均可(kě)以在短的(de)時(shí)間内實現測量數據。使用(yòng)STM7自動對(duì)焦單元可(kě)以在短時(shí)間内實現高(gāo)度測量。即使是粗糙或傾斜的(de)樣品表面,利用(yòng)主動反射、共聚焦方法都可(kě)

以實現穩定對(duì)焦,而小直徑的(de)激光(guāng),也(yě)能對(duì)微小物(wù)體,比如引線的(de)自動對(duì)焦。



單次對(duì)焦模式
執行自動聚焦後,可(kě)瞬間完成從大(dà)緻的(de)聚焦狀态轉爲視場(chǎng)中心的(de)清晰對(duì)焦。
跟蹤模式
啓用(yòng)具有特色的(de)追蹤模式後會随樣品表面的(de)高(gāo)低起伏自動對(duì)焦,即使在移動工作台的(de)情況下(xià),也(yě)可(kě)以始終保持合焦狀态。這(zhè)使得(de)操作者在手不需要離開X和(hé)Y手柄的(de)情

況下(xià)也(yě)能實施觀察,從而提高(gāo)了(le)Z軸的(de)測量效率。

拓寬了(le)測量觀察範圍的(de)配件

                     編碼物(wù)鏡轉換器

将編碼物(wù)鏡轉盤與數碼照(zhào)相機配套使用(yòng)可(kě)以在觀察過程中在屏幕上顯示物(wù)鏡的(de)放大(dà)倍率,以方便您記錄倍率。同時(shí)切換倍率
時(shí)也(yě)能與軟件中記錄的(de)校準值和(hé)光(guāng)強連動調整設置。有明(míng)場(chǎng)物(wù)鏡和(hé)明(míng)暗場(chǎng)物(wù)鏡兩種供您選擇。

 

 

              MM6-EMO正像單目鏡筒

正立圖像用(yòng)單目鏡筒。可(kě)與MM6-OCC10×(帶十字線的(de)目鏡)配套使用(yòng)。

               

                     STM7-FS腳踏開關

實現了(le)不需要用(yòng)手進行數據傳輸,使操作者可(kě)以在手不離開X和(hé)Y手柄的(de)情況下(xià)完成測量。

 

                SZ-LW61白光(guāng)LED照(zhào)明(míng)裝置

具有小型,輕便,使用(yòng)壽命長(cháng),功耗低等特點。此外,這(zhè)款高(gāo)性價比的(de)LED照(zhào)明(míng)單元也(yě)不會發生閃爍和(hé)亮度波動。

 

SZX2-ILR66+ SZX-RHS LED環形照(zhào)明(míng)+手動控制裝置

SZX-RHS手動控制單元可(kě)以實現SZX2-ILR66反射LED環形照(zhào)明(míng)裝置的(de)四段獨立照(zhào)明(míng),并提供具有高(gāo)色溫的(de)清晰圖像。可(kě)以從13種模式中選擇

适合的(de)照(zhào)明(míng)。

 

旋轉載物(wù)台
使用(yòng)微調旋鈕可(kě)以實現對(duì)樣品的(de)平行對(duì)齊。


STM7-RS100
STM7-CS100 100mm×100mm載物(wù)台


STM7-RS200
STM7-CS200 200mm×200mm載物(wù)台


STM7-RS300
STM7-CS300 300mm×300mm載物(wù)台

測量支持系統
即使對(duì)複雜(zá)形狀也(yě)能實現快(kuài)、簡單、精度好的(de)測量,對(duì)于顯示測量顯微鏡輸出的(de)數據和(hé)圖像來(lái)說,看的(de)越清楚也(yě)就能方便快(kuài)捷地使用(yòng)和(hé)測量。爲了(le)支持高(gāo)精度、高(gāo)複

雜(zá)性的(de)測量,奧林(lín)巴斯測量軟件可(kě)以和(hé)數碼照(zhào)相機結合使用(yòng)。

小型手動鏡架
STM7-SF
小型電動鏡架
STM7-SFA
中型手動鏡架
STM7-MF
中型電動鏡架
STM7-MAF
大(dà)型手動鏡架
STM7-LF
大(dà)型鏡架
STM7-LFA
     
顯微鏡
鏡架

聚焦
垂直移動範圍 175 mm 145 mm
大(dà)的(de)測量高(gāo)度 120 mm(配備測量物(wù)鏡)
175 mm(配備金相物(wù)鏡)
90 mm(配備測量物(wù)鏡)
145 mm*1(配備金相物(wù)鏡)
Z軸測量分(fēn)辨率 0.1 μm
Z軸驅動方法 手動同軸
微調/粗調
焦旋鈕
電馬達驅動:
●聚焦按鈕:
移動速度
8 mm/s(大(dà))
●微/粗調焦旋鈕:
微調焦速度(旋轉
一周移動量)
有4檔可(kě)供選擇
(800 μm,400μm,
100 μm,50 μm)
手動同軸
微調/粗調
焦旋鈕
電馬達驅動:
●聚焦按鈕:
移動速度
8 mm/s(大(dà))
●微/粗調焦旋鈕:
微調焦速度(旋轉
一周移動量)
有4檔可(kě)供選擇
(800 μm,400μm,
100 μm,50 μm)
手動同軸
微調/粗調
焦旋鈕
電馬達驅動:
●聚焦按鈕:
移動速度
8 mm/s(大(dà))
●微/粗調焦旋鈕:
微調焦速度(旋轉
一周移動量)
有4檔可(kě)供選擇
(800 μm,400μm,
100 μm,50 μm)
照(zhào)明(míng) LED照(zhào)明(míng) 白色:用(yòng)于反射光(guāng)照(zhào)明(míng),綠(lǜ)色:用(yòng)于透射光(guāng)照(zhào)明(míng)
鏡筒 正像單目鏡筒,正像三目鏡筒(100:0/0:100)
物(wù)鏡 測量顯微鏡用(yòng) MM6-OB系列
金相顯微鏡用(yòng) MPLFLN 系列, LMPLFLN 系列, MPLFLN-BD 系列, LMP LFLN-BD 系列
目鏡    MM6-OCC10X (帶十字線, FN 22), MM6-O C10X (FN 22)     
載物(wù)台 測量範圍 STM7-CS50:
X軸 50 mm, Y軸 50 mm
STM7-CS100:
X軸 100 mm, Y軸 100 mm
STM7-CS200:
X軸 200 mm, Y軸 200 mm
STM7-CS300:
X軸 300 mm, Y軸 300 mm
測量**度
(L:測量長(cháng)度)
STM7-CS50: (3+L/50) μm
STM7-CS100: (3+2L/100) μm
(3+4L/200) μm (3+6L/200) μm
**度保證重量 STM7-CS50: 5 kg
STM7-CS100: 6 kg
10 kg 15 kg
計數器顯示 軸數 3軸
單位 毫米/微米/英寸/密耳   
小分(fēn)辨率 0.1 μm
外形尺寸(寬×長(cháng)×高(gāo))(mm) 466 x 583
x651
466 x 583 x 811 606 x 762 x 651 606 x 762 x 811 804 x 1024 x 686 804 x 1024 x 844
重量 約84 kg 約92 kg 約152 kg 約159 kg 約277 kg 約284 kg
額定功率 100-120/220-
240V ~
50/60Hz
0.3A/0.2A
100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A
100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.3A/0.2A
100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A
100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.3A/0.2A
100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A

*1 使用(yòng)大(dà)型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時(shí),可(kě)以将高(gāo)度爲100 mm或以下(xià)的(de)樣品放置在光(guāng)軸後方180 mm或以上距離的(de)地方。

物(wù)鏡工作距離

                                                  倍率 1x 3x 5x 10x 20x 50x 100x
物(wù)鏡
測量物(wù)鏡 MM6-OB系列 59.6 76.8 65.4 50.5 - - -
金相物(wù)鏡 MPLFLN系列 明(míng)場(chǎng) - - 20.0 11.0 3.1 1.0 1.0
LMPLFLN系列 長(cháng)工作距離 - - 22.5 21.0 12.0 10.6 3.4
MPLFLN-BD系列 明(míng)場(chǎng)/暗場(chǎng) - - 12.0 6.5 3.0 1.0 1.0
LMPLFLN-BD系列 明(míng)場(chǎng)/暗場(chǎng)
長(cháng)工作距離
- - 15.0 10.0 12.0 10.6 3.3

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