AWL系列晶圓檢查系統_晶圓搬運_國産晶圓搬送機_金相顯微鏡-工具顯微鏡專家-上海思長(cháng)約光(guāng)學儀器有限公司

AWL系列晶圓檢查系統_晶圓搬運_國産晶圓搬送機

SOPTOP全新半導體工業檢測産品——AWL系列晶圓檢查系統，兼具穩定性和(hé)安全性，能夠安全可(kě)靠的(de)傳送晶圓，适合于前道到後道工程的(de)晶圓檢查。

一個(gè)晶圓在經過一系列複雜(zá)工序後最終變成多(duō)個(gè)IC單元，期間晶圓需要依賴晶圓搬運機在處理(lǐ)站之間執行快(kuài)速、精确的(de)傳送作業。納米級厚度的(de)晶圓很容易在傳送過程中損壞，而且還(hái)須确保在工序中晶圓表面不得(de)有髒污、缺陷等。

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産品詳情

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SOPTOP推出了(le)AWL系列晶圓檢查系統（晶圓搬送機），擁有 AWL046、AWL068、AWL812三種機型，多(duō)類配置分(fēn)别可(kě)适用(yòng)于 4/6 英寸，6/8英寸、8/12英寸的(de)晶圓檢測，适應範圍廣、搭配靈活。

AWL系列可(kě)自由設置的(de)檢查模式，充分(fēn)符合人(rén)機工程學設計，操作舒适、簡便，又可(kě)稱作晶圓自動搬送機。

360°宏觀檢查
AWL系列具有宏觀檢查手臂，可(kě)以實現晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查 1 的(de) 360°旋轉，更爲容易發現傷痕和(hé)微塵。通(tōng)過操作杆可(kě)随意将晶圓傾斜觀察。晶面最大(dà)傾斜角度70°，晶背 1 最大(dà)傾斜角度 90°，晶背 2最大(dà)傾斜角度 160°，利用(yòng)旋轉功能、傾斜角度，完全可(kě)以目視檢查整個(gè)晶圓正反面及邊緣。

人(rén)機工程學設計
LCD 顯示屏，可(kě)爲操作者提供更直觀的(de)視覺體驗，可(kě)清晰的(de)顯示當前檢查項目及次序，調試參數一目了(le)然。手動快(kuài)速釋放真空載物(wù)台可(kě)提高(gāo)操作者的(de)舒适度和(hé)工作效率，充分(fēn)體現了(le)國産晶圓搬送機的(de)人(rén)機工程學設計理(lǐ)念。

精密微觀檢查
采用(yòng)專業半複消色差金相物(wù)鏡，可(kě)滿足明(míng)場(chǎng)、暗場(chǎng)、DIC、偏光(guāng)等多(duō)種觀察方式。全新電動控制系統，可(kě)排查 μm 級異常，諸如孔未開出，短路，斷路，沾污，氣泡，殘留等。

應用(yòng)領域

型号	AWL046	AWL068	AWL812
晶圓尺寸	100mm / 150mm	150mm / 200mm	200mm / 300mm
晶圓最小厚度	150um	150um / 180um	180um / 250um
晶舟類型	Open Cassette		Open Cassette / FOUP、FOSB
檢查模式設置	全檢 / 奇數檢 / 偶數檢 / 手動選擇
晶舟掃描（有 / 無 / 斜片）	●	●	●
晶舟内凸片偵測報警	≥4mm		≥5mm
晶圓預定位（平邊、Notch）	●	●	●
朝向設置（平邊、Notch）	非接觸式定位平邊、Notch，支持0°、90°、180°、270°朝向設置
檢查功能	晶面宏檢（旋轉）、晶背宏檢1（外圈、旋轉）、晶背宏檢2（中心）		晶面宏檢（旋轉）、晶背宏檢1（外圈）、晶背宏檢2（中心）
外觀尺寸（WDH）	14507001600mm	15507001600mm	240014002450mm
電源需求	1P / 220V / 10A		1P / 220V / 16A
真空需求（負壓 / 正壓）	-70KPA ～ -80KPA		-70KPA ～ -80KPA / 0.5MPA
适用(yòng)顯微鏡	SOPTOP MX68R金相顯微鏡
光(guāng)學系統	無限遠(yuǎn)色差校正光(guāng)學系統，放大(dà)倍率50X-1000X
觀察方式	明(míng)場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光(guāng)、DIC
目鏡	高(gāo)眼點大(dà)視野平場(chǎng)目鏡PL10X22mm，可(kě)帶視度可(kě)調，可(kě)帶測微尺		高(gāo)眼點大(dà)視野平場(chǎng)目鏡PL10X25mm，可(kě)帶視度可(kě)調，可(kě)帶測微尺
觀察頭	鉸鏈三目觀察筒，5-35度傾角可(kě)調，正像，瞳距調節範圍：50-76mm，兩檔式分(fēn)光(guāng)比，雙目：三目=100：0，0：100		鉸鏈三目觀察筒，0-35度傾角可(kě)調，正像，瞳距調節範圍：50-76mm，兩檔式分(fēn)光(guāng)比，雙目：三目=100：0，0：100
物(wù)鏡	長(cháng)工作距平場(chǎng)明(míng)暗場(chǎng)半複消色差金相物(wù)鏡 5X / 10X / 20X / 50X / 100X
轉換器	明(míng)暗場(chǎng)6孔電動轉換器（帶DIC插槽）
機架	反射式機架，前置低手位粗微同軸調焦機構，粗調行程35mm，微調精度0.001mm，帶有防止下(xià)滑的(de)松緊調節裝置和(hé)随機上限位裝置，内置100-240V寬電壓系統		明(míng)暗場(chǎng)反射照(zhào)明(míng)器，帶視場(chǎng)光(guāng)闌，可(kě)變電動孔徑光(guāng)闌，帶明(míng)暗場(chǎng)切換裝置，帶濾色片插槽與偏光(guāng)裝置插槽，帶12V10W LED光(guāng)源控制部件
機架	明(míng)暗場(chǎng)反射照(zhào)明(míng)器，帶視場(chǎng)光(guāng)闌，可(kě)變電動孔徑光(guāng)闌，帶明(míng)暗場(chǎng)切換裝置，帶濾色片及偏光(guāng)裝置插槽，帶12V10W LED燈箱
載物(wù)台	6英寸機械移動平台，低手位X、Y方向同軸調節，晶圓承片台台面φ38mm，可(kě)360°旋轉，移動行程228mm(X方向)×170mm（Y方向），觀察範圍：170mmX170mm，帶離合器手柄	8英寸機械移動平台，低手位X、Y方向同軸調節，晶圓承片台台面φ60mm，可(kě)360°旋轉，移動行程280mm（X方向）×210mm（Y方向），觀察範圍：210mm×210mm，帶離合器手柄	12英寸自動平台，X、Y、Z、φ多(duō)方向調節，晶圓承片台台面φ70mm，可(kě)360°旋轉，移動行程600mm（X方向）×500mm（Y方向），觀察範圍：310mm×310mm，φ方向可(kě)±5度旋轉，各軸運動速度可(kě)以高(gāo)低速切換
其他(tā)	濾色片插闆、起/檢偏鏡插闆、DIC組件、攝像接口、調整平台、相機、專業晶圓檢查軟件等

正置金相顯微鏡