021-39530106
正置金相顯微鏡
MX8R-SOPTOP-大(dà)平台晶圓半導體檢查顯微鏡

MX8R 大(dà)平台晶圓半導體檢查顯微鏡 各項操作根據人(rén)機工程學設計,最大(dà)限度減輕操作者的(de)使用(yòng)疲勞。其模塊化(huà)的(de)部件設計,可(kě)對(duì)系統功能進行自由組合。涵蓋明(míng)場(chǎng)、暗場(chǎng)、斜照(zhào)明(míng)、偏光(guāng)、DIC微分(fēn)幹涉等多(duō)種觀察功能,可(kě)根據實際應用(yòng),進行功能選擇。SOPTOP

服務熱(rè)線:021-39530106
産品詳情

MX8R大(dà)平台晶元半導體檢查顯微鏡

LED芯片檢測顯微鏡MX8R型

儀器概述

 

MX8R各項操作根據人(rén)機工程學設計,最大(dà)限度減輕操作者的(de)使用(yòng)疲勞。其模塊化(huà)的(de)部件設計,可(kě)對(duì)系統功能進行自由組合。涵蓋明(míng)場(chǎng)、暗場(chǎng)、斜照(zhào)明(míng)、偏光(guāng)、DIC微分(fēn)幹涉等多(duō)種觀察功能,可(kě)根據實際應用(yòng),進行功能選擇。

無限遠(yuǎn)鉸鏈三通(tōng)觀察頭

ETTR 型正像鉸鏈三目觀察頭,所成像的(de)方位與物(wù)體實際方位一緻,物(wù)體移動的(de)方向跟像面移動的(de)方向相同,便于使用(yòng)者觀察與操作。

長(cháng)工作距金相物(wù)鏡

全新設計的(de)長(cháng)工作距物(wù)鏡,采用(yòng)半複消色差技術,其使用(yòng)的(de)多(duō)層寬帶鍍膜技術,使整個(gè)視場(chǎng)内的(de)成像清晰銳利,色彩自然,明(míng)亮舒适。長(cháng)工作距設計,50X 物(wù)鏡的(de)有效工作距離 7.9mm,100X 物(wù)鏡的(de)有效工作距離也(yě)達到了(le) 2.1mm,更有20X 超長(cháng)工作距金相物(wù)鏡,大(dà)幅拓展了(le) MX 機型的(de)應用(yòng)領域。同步設計了(le)全套明(míng)暗場(chǎng)兩用(yòng)物(wù)鏡,适用(yòng)于MX8R 機型,暗場(chǎng)照(zhào)明(míng)亮度比傳統暗場(chǎng)物(wù)鏡提高(gāo) 2 倍以上。

高(gāo)性能物(wù)鏡轉換器

MX 機型的(de)轉換器采用(yòng)精密軸承設計,轉動手感輕巧舒适,重複定位精度高(gāo),物(wù)鏡轉換後的(de)同心度也(yě)得(de)到較好的(de)控制,根據 MX 系列機型配置及功能的(de)不同,可(kě)以選擇不同型号的(de)轉換器。

明(míng)暗場(chǎng)反射照(zhào)明(míng)器
帶可(kě)變孔徑光(guāng)闌,視場(chǎng)光(guāng)闌,中心均可(kě)調 ;帶明(míng)暗場(chǎng)照(zhào)明(míng)切換裝置,适用(yòng)于MX8R/MX8RT機型。

豐富的(de)觀察方式,滿足您的(de)檢測需求

明(míng)場(chǎng)觀察:遠(yuǎn)心柯拉反射照(zhào)明(míng)系統,配以全新設計的(de)無限遠(yuǎn)長(cháng)工作距平場(chǎng)消色差金相物(wù)鏡,從低倍到高(gāo)倍,都能得(de)到清晰、平坦、明(míng)亮的(de)高(gāo)畫(huà)質顯微圖像。

暗場(chǎng)觀察:将暗場(chǎng)照(zhào)明(míng)拉杆拉到指定位置,即可(kě)使用(yòng)暗場(chǎng)功能,可(kě)以觀察物(wù)體表面的(de)各種劃痕、雜(zá)質點及其他(tā)細微缺陷。内置衰減片,減少明(míng)暗場(chǎng)切換時(shí)光(guāng)線劇烈變換對(duì)眼睛的(de)刺激。

簡易偏光(guāng)觀察:将起偏鏡及檢偏鏡插闆插入照(zhào)明(míng)器的(de)指定位置,即可(kě)進行簡易偏光(guāng)觀察。檢偏鏡可(kě)分(fēn)爲固定式和(hé) 360°旋轉式兩種。

DIC 微分(fēn)幹涉觀察:在正交偏光(guāng)的(de)基礎上 , 插入 DIC 棱鏡,即可(kě)進行 DIC 微分(fēn)幹涉觀察。使用(yòng) DIC 技術 , 可(kě)以使樣品表面微小的(de)高(gāo)低差産生明(míng)顯的(de)浮雕效果,極大(dà)的(de)提高(gāo)圖像的(de)對(duì)比度。可(kě)匹配帶 DIC 功能的(de)物(wù)鏡,使整個(gè)視場(chǎng)的(de)幹涉色一緻,微分(fēn)幹涉效果非常出色 , 高(gāo)倍物(wù)鏡 DIC 效果也(yě)較好。

     附件:       攝影(yǐng) / 攝像附件:在三目觀察筒上,可(kě)以配接攝影(yǐng)攝像裝置,将雙目觀察到的(de)圖像輸出至監視器或計算(suàn)機,進行圖像分(fēn)析、處理(lǐ)、保存或傳送。使用(yòng)專用(yòng)的(de) C 接口與中繼鏡,可(kě)以和(hé)數碼相機聯接,快(kuài)速進行拍(pāi)照(zhào),并獲取圖像。

多(duō)種幹涉濾色片可(kě)選:   使用(yòng) 12V100W 鹵素燈時(shí)照(zhào)明(míng)時(shí),可(kě)以選擇 LBD 日光(guāng)型濾色片,能将光(guāng)線過濾成自然日光(guāng)的(de)顔色,圖像背景柔和(hé)亮白。根據具體工業檢測的(de)需要,可(kě)以選擇其他(tā)顔色的(de)濾光(guāng)片來(lái)對(duì)光(guāng)線光(guāng)譜進行調節,以獲得(de)最好的(de)圖像效果。
                                                     

詳細技術參數

 

型号

MX8R

MX8RT

光(guāng)學系統

無限遠(yuǎn)色差光(guāng)學系統

觀察筒

30°傾斜,正像,無限遠(yuǎn)鉸鏈三通(tōng)觀察筒,瞳距調節 :50-76mm,分(fēn)光(guāng)比 100:0 或 0:100(支持 25/26.5mm 視場(chǎng))

30°傾斜,倒像,無限遠(yuǎn)鉸鏈三通(tōng)觀察筒,瞳距調節 :50-76mm,三檔分(fēn)光(guāng)比 0:100 ;20:80 ;100:0(支持 25/26.5mm 視場(chǎng))

5-35°傾角可(kě)調,正像,無限遠(yuǎn)鉸鏈三通(tōng)觀察筒,瞳距調節:50-76mm,單邊視度調節:±5 屈光(guāng)度,兩檔分(fēn)光(guāng)比 100:0 或 0:100(支持 22/23/16mm 視場(chǎng))

目鏡

高(gāo)眼點大(dà)視野平場(chǎng)目鏡 PL10X/22mm,可(kě)帶測微尺,可(kě)選視度可(kě)調

高(gāo)眼點大(dà)視野平場(chǎng)目鏡 PL10X/23mm,視度可(kě)調

高(gāo)眼點大(dà)視野平場(chǎng)目鏡 PL10X/25mm,視度可(kě)調,可(kě)帶刻度十字分(fēn)劃闆

高(gāo)眼點大(dà)視野平場(chǎng)目鏡 PL10X/26.5mm,視度可(kě)調,可(kě)帶刻度十字分(fēn)劃闆

高(gāo)眼點大(dà)視野平場(chǎng)目鏡 PL15X/16mm

物(wù)鏡

長(cháng)工作距平場(chǎng)明(míng)暗場(chǎng)消色差金相物(wù)鏡(5X、10X、20X、50X、100X)

無限遠(yuǎn)長(cháng)工作距明(míng)暗場(chǎng)半複消色差金相物(wù)鏡(5X、10X、20X、50X、100X)

超長(cháng)工作距明(míng)暗場(chǎng)半複消色差金相物(wù)鏡(20X)

轉換器

内定位五孔明(míng)暗場(chǎng)轉換器,帶 DIC 插槽

調焦機構

反射式機架,前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程 33mm,微調精度0.001mm。帶有防止下(xià)滑的(de)調節松緊裝置和(hé)随機上限位裝置。内置 100-240V 寬電壓系統,帶光(guāng)亮度設定暗扭與複位按扭。

透、反射式機架,前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程33mm,微調精度0.001mm。帶有防止下(xià)滑的(de)調節松緊裝置和(hé)随機上限位裝置 . 内置100-240V寬電壓系統,5W 暖色LED透射光(guāng)照(zhào)明(míng)系統,上下(xià)光(guāng)獨立可(kě)控

載物(wù)台

6 英寸三層機械移動平台,低手位 X、Y 方向同軸調節 ;平台面積 445mm×240mm,反射照(zhào)明(míng)移動範圍 :158mm×158mm ;透射照(zhào)明(míng)移動範圍 :100×100mm ;帶離合器手柄,可(kě)用(yòng)于全行程範圍内快(kuài)速移動 ;玻璃載物(wù)台闆(透、反射用(yòng))

照(zhào)明(míng)系統

明(míng)暗場(chǎng)反射照(zhào)明(míng)器 , 帶可(kě)變孔徑光(guāng)闌,視場(chǎng)光(guāng)闌 , 中心均可(kě)調 ;帶明(míng)暗場(chǎng)照(zhào)明(míng)切換裝置 ;帶濾色片插槽與偏光(guāng)裝置插槽

攝影(yǐng)攝像

0.35X/0.5X/0.65X/1X 攝像接筒,C 型接口,可(kě)調焦

其他(tā)

起偏鏡插闆,固定式檢偏鏡插闆,360°旋轉式檢偏鏡插闆 ;反射用(yòng)幹涉濾色片組;高(gāo)精度測微尺;DIC 微分(fēn)幹涉組件。

       

 

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