LSI檢查顯微鏡

超高(gāo)的(de)基本性能之外，更大(dà)大(dà)提升了(le)觀察性、操作性、耐久性

可(kě)以觀察的(de)最大(dà)矽片直徑爲200mm

觀察倍率15X～3000X（視目鏡和(hé)物(wù)鏡的(de)組合而定）

ECLIPSE L200N 反射照(zhào)明(míng)專用(yòng)

ECLIPSE L200ND反射.透射照(zhào)明(míng)專用(yòng)

觀察性能提升

擴大(dà)檢查範圍的(de)反射熒光(guāng)觀察（L200ND）新

反射照(zhào)明(míng)觀察，除可(kě)進行明(míng)場(chǎng)、暗場(chǎng)、微分(fēn)幹涉觀察之外，更可(kě)進行UV（365nm)激發的(de)反射熒光(guāng)觀察。

對(duì)于半導體感光(guāng)薄膜的(de)殘渣、有機EL顯示面闆的(de)觀察發揮了(le)很大(dà)的(de)威力。

使用(yòng)物(wù)鏡：CFI LU PLAN FLUOR 10X

矽片的(de)明(míng)場(chǎng)觀察 暗場(chǎng)觀察 微分(fēn)幹涉觀察反射熒光(guāng)觀察

反射熒光(guāng)觀察用(yòng)的(de)電動水(shuǐ)銀光(guāng)纖光(guāng)源[INTENSILIGHT](L200ND)

光(guāng)源采用(yòng)了(le)預定心電動水(shuǐ)銀光(guāng)纖光(guāng)源[INTENSILIGHT]。更換燈泡時(shí)不用(yòng)進行燈絲調心和(hé)對(duì)焦。

燈箱可(kě)與主機分(fēn)離設置，以降低光(guāng)源發熱(rè)對(duì)顯微鏡的(de)影(yǐng)響。6段式的(de)調光(guāng)機能和(hé)快(kuài)門機能，實現了(le)良好的(de)操作性。

約2000小時(shí)超長(cháng)使用(yòng)壽命的(de)燈泡大(dà)幅降低了(le)使用(yòng)成本。

操作性能提升、理(lǐ)環保

比12V100W更亮的(de)高(gāo)亮度12V50W鹵素燈新

采用(yòng)了(le)12V50W的(de)[LV-LH50PC預定心燈箱]，與12V100W相比，耗電量削減了(le)約一半，又可(kě)達到與其同等甚至更亮的(de)亮度。

燈絲位置經過優化(huà)設計，且燈箱裏有反光(guāng)鏡，使照(zhào)明(míng)視場(chǎng)均勻，并提高(gāo)照(zhào)明(míng)效率。特别是用(yòng)到50倍以的(de)高(gāo)倍物(wù)鏡時(shí)，能得(de)到比12V100W亮約20%的(de)觀察圖象。

更環保，也(yě)能防止因熱(rè)量而造成的(de)焦面偏移的(de)幹擾。

抗污染的(de)防靜電塗層新

主機、載物(wù)台、鏡筒均塗有消靜電塗層。爲了(le)提高(gāo)抗污染能力，防止工件因靜電感應而受損，從而提高(gāo)成品率。

可(kě)調節到最佳位置進行觀察的(de)正立調傾式三目鏡筒

視場(chǎng)數25的(de)超大(dà)視場(chǎng)，可(kě)任意設定0～30°的(de)觀察角度。根據使用(yòng)者體型和(hé)觀察姿勢的(de)不同，可(kě)将三目鏡筒調節到最佳位置松随意的(de)進行觀察。

載物(wù)台微調手輪無需移動工件

不用(yòng)移動工件，載物(wù)台微調手柄位置固定于顯微鏡主機操作部旁。

所有的(de)操作部都盡在手邊，移動載物(wù)台、對(duì)焦等顯微操作，不用(yòng)擡手，隻需動動手腕就可(kě)輕松執行。

耐久性比以前高(gāo)3倍的(de)電動通(tōng)用(yòng)物(wù)鏡轉換器新

最多(duō)可(kě)以安裝到6個(gè)物(wù)鏡。和(hé)偏心較小的(de)物(wù)鏡結合使用(yòng)，用(yòng)高(gāo)倍物(wù)鏡觀察時(shí)切換倍率也(yě)很少會出現圖象閃動現象。

從低倍到高(gāo)倍的(de)自由切換更穩定。考慮到使用(yòng)者，在旋轉物(wù)鏡轉換器時(shí)會自動切斷照(zhào)明(míng)光(guāng)路，避免光(guāng)直接照(zhào)射使用(yòng)者眼晴。

對(duì)焦目标

對(duì)焦目标可(kě)移入光(guāng)路，這(zhè)一特性對(duì)于裸矽片之類的(de)低對(duì)比度工件的(de)正确對(duì)焦成爲方便。

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顯微鏡操作部位集中于底座前部

操作手輪、按鍵等，都集中于底座前部，更便于使用(yòng)。一看就能快(kuài)捷高(gāo)效的(de)進行顯微操作。大(dà)大(dà)減輕了(le)長(cháng)時(shí)間觀察的(de)疲勞感。

獲取最佳圖象，提升與顯微鏡用(yòng)數碼相機的(de)聯動力

實現了(le)從觀察到圖象拍(pāi)攝、分(fēn)析的(de)最佳整體化(huà)

·尼康開發提供了(le)便于使用(yòng)的(de)顯微鏡、數碼相機和(hé)軟件一體化(huà)的(de)高(gāo)機能設備系統。

·支持從設定最佳觀察條件，到數碼拍(pāi)攝→處理(lǐ)→分(fēn)析的(de)整個(gè)流程。

用(yòng)于LSI檢查顯微鏡 ECLIPSE L200N

WaferLoader NWL200系列

與ECLIPSE L200N相結合，對(duì)應最新的(de)矽片檢查需要。

運用(yòng)獨立的(de)尼康高(gāo)端技術，穩定傳輸超薄型100um矽片。