分(fēn)析從最小的(de) MEMS 傳感器到超大(dà) XXL 晶圓，或甚至整塊平闆顯微器，其間不會對(duì)樣品造成破壞。借助最大(dà) 300 mm 的(de)橫向移動距離和(hé)最高(gāo) 254 mm 的(de)垂直深度，您可(kě)以在 Axio Imager Vario 下(xià)檢測大(dà)量樣品。一體化(huà)機柱設計确保了(le)穩定性。在超淨室内檢測晶圓的(de)應用(yòng)中 – Axio Imager Vario 已通(tōng)過 DIN EN ISO 14644-1 标準認證，并滿足潔超淨室等級 5 的(de)要求。利用(yòng)驅動 Z 軸的(de)電動馬達與自動聚焦硬件确保自動調整至更佳聚焦位置。
特點：
- 兩種手動和(hé)一種電動機柱（配有符合工業标準的(de)三個(gè)模式控制按鈕）可(kě)供選擇，充分(fēn)利用(yòng)顯微鏡最大(dà) 300 mm 橫向與縱向移動距離和(hé)最高(gāo) 254 mm 垂直深度的(de)優勢。
- Axio Imager Vario 能通(tōng)過物(wù)鏡轉盤的(de)上下(xià)移動來(lái)聚焦樣品。這(zhè)就意味著(zhe)，即便是較重的(de)樣品，也(yě)可(kě)以獲得(de)高(gāo)精準聚焦精度和(hé)可(kě)重複性。
- 借助自動聚焦硬件，您可(kě)以精準快(kuài)速地聚焦低對(duì)比度的(de)反射樣品。
- Axio Imager Vario 與 LSM 700 組合應用(yòng)，以高(gāo)分(fēn)辨率無接觸地分(fēn)析敏感樣品。
- Axio Imager Vario 已通(tōng)過 DIN EN ISO 14644-1 标準認證，并滿足潔超淨室等級 5 的(de)要求。
- 超淨室：
半導體制造與晶圓檢測需要在超淨室内完成。根據 DIN EN ISO 14644-1 标準，以每立方米的(de)顆粒數量和(hé)大(dà)小将其劃分(fēn)成不同等級。在超淨室應用(yòng)中，Axio Imager Vario 已通(tōng)過此标準認證，并滿足超淨室等級 5 的(de)要求。超淨室 ISO 5 等級相當于原 FED STD 209E（1992）标準的(de) 100 級。超淨室套件中包含一個(gè) 7 孔物(wù)鏡轉盤、一個(gè)顆粒保護罩及一個(gè)防噴嚏保護罩。
自動聚焦硬件：
集成有 Auto Focus 自動聚焦硬件系統的(de) Axio Imager Vario 能夠在高(gāo)達 12000 µm 的(de)焦點捕獲範圍内實現快(kuài)速精準的(de)聚焦。在工業生産和(hé)研究的(de)檢測應用(yòng)中，您需要一套聚焦精度能達到物(wù)鏡景深 0.3 倍的(de)高(gāo)精度聚焦系統。該自動聚集硬件适合于使用(yòng)反射光(guāng)、透射光(guāng)、明(míng)場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光(guāng)、微分(fēn)幹涉相差及斜照(zhào)明(míng)觀察方式的(de)應用(yòng)。
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