MX63/MX63L 半導體/FPD檢查顯微鏡

滿足電子行業需求

功能性：爲滿足電子行業的(de)人(rén)體工學和(hé)安全性要求而設計的(de)附加功能以增強分(fēn)析能力

人(rén)性化(huà)：簡潔的(de)顯微鏡設置使用(yòng)戶調整和(hé)再調用(yòng)系統配置變得(de)更爲輕松。

成像技術：我們成熟可(kě)靠的(de)光(guāng)學器件和(hé)好的(de)成像技術可(kě)獲得(de)清晰圖像，并完成可(kě)靠檢測。

模塊化(huà)：用(yòng)戶可(kě)通(tōng)過選擇适合其應用(yòng)的(de)模塊進行系統定制。

功能

MX63系列的(de)各種觀察功能可(kě)生成清晰的(de)圖像，讓用(yòng)戶能夠對(duì)樣品進行可(kě)靠的(de)缺陷檢測。新的(de)照(zhào)明(míng)技術以及奧林(lín)巴斯Stream圖像分(fēn)析軟件的(de)圖像采集選項爲用(yòng)戶評估樣品和(hé)存

檔檢測結果提供更多(duō)選擇。

從不可(kě)見到可(kě)見：MIX觀察與采集

通(tōng)過暗場(chǎng)與明(míng)場(chǎng)、熒光(guāng)或偏光(guāng)等其他(tā)觀察方法結合使用(yòng)，MIX觀察技術能夠獲得(de)特殊的(de)觀察圖像。MIX觀察技術可(kě)讓用(yòng)戶發現用(yòng)傳統顯微鏡難以觀察的(de)缺陷。暗場(chǎng)觀察所用(yòng)的(de)

環形LED照(zhào)明(míng)器具有可(kě)四象限分(fēn)段照(zhào)明(míng)的(de)定向暗場(chǎng)功能。該功能可(kě)減少樣品光(guāng)暈，有助于觀察樣品的(de)表面紋理(lǐ)。

輕松生成全景圖像:即時(shí)MIA

利用(yòng)多(duō)圖像拼接(MIA)功能, 用(yòng)戶移動手動載物(wù)台上的(de)XY旋鈕即可(kě)輕松快(kuài)速地完成圖像拼接—電動載物(wù)台無需該操作。奧林(lín)巴斯Stream軟件利用(yòng)圖案識别生成全景圖像，讓用(yòng)

戶獲得(de)更寬的(de)視場(chǎng)。

生成全聚焦圖像:EFI

奧林(lín)巴斯Stream軟件的(de)擴展聚焦成像(EFI) 功能可(kě)采集高(gāo)度超出景深範圍的(de)樣品圖像。EFI将這(zhè)些圖像堆疊在一起生成單幅全聚焦樣品圖像。EFI配合手動或電動Z軸載物(wù)台使用(yòng)

，可(kě)輕松生成結構可(kě)視化(huà)的(de)高(gāo)度圖像。EFI圖像可(kě)在奧林(lín)巴斯Stream桌面軟件内離線生成。

利用(yòng)HDR采集明(míng)亮區(qū)域和(hé)暗光(guāng)區(qū)域

利用(yòng)先進的(de)圖像處理(lǐ)技術，動态範圍(HDR)可(kě)在圖像内調整亮度差異，以減少眩光(guāng)。HDR改善了(le)數字圖像的(de)視覺品質，從而有助于生成具有參考價值的(de)報告。

從基本測量到高(gāo)級分(fēn)析獨立相機選項

測量對(duì)于品質、工藝控制和(hé)檢測非常重要。基于這(zhè)一想法，即便入門級奧林(lín)巴斯Stream軟件包也(yě)包括交互測量功能的(de)全部菜單，并且所

有測量結果與圖像文件一起保存以便日後調用(yòng)文檔。此外，奧林(lín)巴斯Stream材料解決方案可(kě)爲複雜(zá)圖像分(fēn)析提供直觀的(de)工作流界面。

點擊按鈕，圖像分(fēn)析任務即可(kě)快(kuài)速完成。可(kě)大(dà)快(kuài)速縮減重複性任務的(de)處理(lǐ)時(shí)間，使操作人(rén)員(yuán)的(de)精力集中在檢測工作上。

報告創建

創建報告所用(yòng)的(de)時(shí)間常常比采集圖像和(hé)測量還(hái)長(cháng)。奧林(lín)巴斯Stream軟件提供了(le)直觀的(de)報告創建功能，能夠根據預先設定的(de)模闆多(duō)次創

建專業複雜(zá)的(de)報告。編輯非常簡單，報告可(kě)導出爲MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外，奧林(lín)巴斯Stream報告功能能夠對(duì)采集的(de)圖

像進行數碼變焦和(hé)倍率放大(dà)。報告文件大(dà)小适中，通(tōng)過電子郵件進行數據傳遞更加方便。