一、用(yòng)途：

幹涉顯微鏡是用(yòng)來(lái)測量精密加工零件（平面、圓柱等外表面）光(guāng)潔度的(de)儀器，也(yě)可(kě)以用(yòng)來(lái)測量零件表面刻線，鍍層等深度。該儀器配有各種附件，還(hái)能測量粒狀、加工紋路混亂的(de)表面及低反射率的(de)工件表面。同時(shí)還(hái)能将儀器安置在工件上，對(duì)大(dà)型工件表面進行測量。儀器測量表面不平深度範圍爲1～0.03微米，用(yòng)測微目鏡和(hé)照(zhào)相方法來(lái)評定▽10～▽14光(guāng)潔度的(de)表面。

幹涉顯微鏡适用(yòng)于廠礦企業計量室、精密加工車間，也(yě)适用(yòng)于高(gāo)等院校、科學研究等單位。

 二、主要技術規格：

測量表面光(guāng)潔度範圍（表面粗糙度） ▽10～▽14
工作物(wù)鏡的(de)數值孔徑		0.65
工作距離		0.5毫米
儀器的(de)視場(chǎng)	目視	φ0.25毫米
	照(zhào)相	0.21×0.15毫米
儀器的(de)放大(dà)倍數	目視	500倍
	照(zhào)相	168倍
測微目鏡放大(dà)倍數		12.5倍
工作台升程		5毫米
X、Y方向移動範圍		≈10毫米
旋轉運動範圍		360°

三、儀器配置：

1、儀器主體           1台                   2、12.5X測微目鏡      1件  

3、狹縫目鏡           1件                   4、V型塊              1件

5、6V/5W燈泡          2件 （備用(yòng)）       6、變壓器             1隻

7、試樣夾             1件

 四、選購(gòu)件：

DF相機、電腦(nǎo)成像系統等

表面粗糙度與光(guāng)潔度的(de)關系參考表  (單位:μm)