MX6R半導體檢查顯微鏡各項操作根據人(rén)機工程學設計，Zui大(dà)限度減輕操作者的(de)使用(yòng)疲勞。其模塊化(huà)的(de)部件設計，可(kě)對(duì)系統功能進行自由組合。涵蓋明(míng)場(chǎng)、暗場(chǎng)、斜照(zhào)明(míng)、偏光(guāng)、DIC微分(fēn)幹涉等多(duō)種觀察功能，可(kě)根據實際應用(yòng)，進行功能選擇。
MX6R各項操作根據人(rén)機工程學設計，Zui大(dà)限度減輕操作者的(de)使用(yòng)疲勞。其模塊化(huà)的(de)部件設計，可(kě)對(duì)系統功能進行自由組合。涵蓋明(míng)場(chǎng)、暗場(chǎng)、斜照(zhào)明(míng)、偏光(guāng)、DIC微分(fēn)幹涉等多(duō)種觀察功能，可(kě)根據實際應用(yòng)，進行功能選擇。
寬視場(chǎng)鉸鏈式三目觀察筒
正像鉸鏈三目觀察筒，所成像的(de)方位與物(wù)體實際方向相同，物(wù)體移動的(de)方向跟像面移動的(de)方向相同，便于觀察與操作。
大(dà)行程移動平台設計
采用(yòng)6寸平平台設計，行程158×158mm，可(kě)适用(yòng)于對(duì)應尺寸的(de)晶圓或FPD檢測，也(yě)可(kě)用(yòng)于小尺寸樣品的(de)陣列檢測。
高(gāo)精度物(wù)鏡轉換器
轉換器采用(yòng)精密軸承設計，轉動手感輕巧舒适，重複定位精度高(gāo)，物(wù)鏡轉換後的(de)同心度也(yě)得(de)到較好的(de)控制。
安全、穩重的(de)機架結構設計
工業檢測級顯微鏡鏡體，低重心、高(gāo)剛性、高(gāo)穩定性金屬機架，保證了(le)系統的(de)抗震能力與成像穩定性。
其前置低手位粗微調同軸調焦機構，内置100-240V寬電壓變壓器，可(kě)适應不同地區(qū)的(de)電網電壓。底座内部設計有風循環散熱(rè)系統，長(cháng)時(shí)間使用(yòng)也(yě)不會使機架過熱(rè)。
技術參數
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光(guāng)學系統 |
無限遠(yuǎn)色差光(guāng)學系統 | |
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觀察方式 |
明(míng)場(chǎng)/暗場(chǎng)/偏光(guāng)/DIC |
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觀察筒 |
30°傾斜，正像，無限遠(yuǎn)鉸鏈三通(tōng)觀察筒，瞳距調節：50-76mm，分(fēn)光(guāng)比100:0或0:100 |
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| 30°傾斜，倒像，無限遠(yuǎn)鉸鏈三通(tōng)觀察筒，瞳距調節：50-76mm，三檔分(fēn)光(guāng)比0:100；20:80；100:0 | ||
| 5-35°傾角可(kě)調，正像，無限遠(yuǎn)鉸鏈三通(tōng)觀察筒，瞳距調節：50-76mm，單邊視度調節：±5屈光(guāng)度，兩檔分(fēn)光(guāng)比100:0或0:100 | ||
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目鏡 |
高(gāo)眼點大(dà)視野平場(chǎng)目鏡PL10X/22mm，視度可(kě)調，可(kě)帶側微尺 |
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| 高(gāo)眼點大(dà)視野平場(chǎng)目鏡PL10X/23mm，視度可(kě)調 | ||
| 高(gāo)眼點大(dà)視野平場(chǎng)目鏡PL10X/25mm，視度可(kě)調 | ||
| 高(gāo)眼點大(dà)視野平場(chǎng)目鏡PL10X/26.5mm，視度可(kě)調 | ||
| 高(gāo)眼點大(dà)視野平場(chǎng)目鏡PL15X/16mm | ||
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物(wù)鏡 |
無限遠(yuǎn)長(cháng)工作距平場(chǎng)明(míng)暗場(chǎng)消色差金相物(wù)鏡5X-DIC、10-DICX、20X-DIC、50X、100X |
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| 明(míng)暗場(chǎng)半複消金相物(wù)鏡5X、10X、20X、50X、100X | ||
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轉換器 |
5孔内傾式明(míng)暗場(chǎng)轉換器，帶DIC插槽 |
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調焦機構 |
反射式機架 , 前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程 33mm, 微調精度 0.001mm. 帶有防止下(xià)滑的(de)調節松緊裝置和(hé)随機上限位裝置.内置 100-240V 寬電壓系統 , 帶光(guāng)亮度設定暗扭與複位按扭 |
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| 透、反射式機架 , 前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程 33mm, 微調精度 0.001mm. 帶有防止下(xià)滑的(de)調節松緊裝置和(hé)随機上限位裝置.内置 100-240V 寬電壓系統，5W暖色LED透射光(guāng)照(zhào)明(míng)系統，上下(xià)光(guāng)獨立可(kě)控 | ||
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載物(wù)台 |
6英寸三層機械移動平台，低手位X、Y方向同軸調節；平台面積445mm×240mm，移動範圍：158mm×158mm；帶離合器手柄，可(kě)用(yòng)于全行程範圍内快(kuài)速移動；玻璃載物(wù)台闆（反射用(yòng)） |
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| 6英寸三層機械移動平台，低手位X、Y方向同軸調節；平台面積445mm×240mm，反射照(zhào)明(míng)移動範圍：158mm×158mm；透射照(zhào)明(míng)移動範圍：100×100mm；帶離合器手柄，可(kě)用(yòng)于全行程範圍内快(kuài)速移動；玻璃載物(wù)台闆（透、反射用(yòng)） | ||
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照(zhào)明(míng)系統 |
明(míng)暗場(chǎng)反射照(zhào)明(míng)器 , 帶可(kě)變孔徑光(guāng)闌，視場(chǎng)光(guāng)闌 , 中心均可(kě)調 ；帶明(míng)暗場(chǎng)照(zhào)明(míng)切換裝置 ；帶濾色片插槽與偏光(guāng)裝置插槽 |
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攝影(yǐng)攝像 |
0.35X/0.5X/0.65X/1X攝像接筒，C型接口，可(kě)調焦 |
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其他(tā) |
起偏鏡插闆，固定式檢偏鏡插闆，360°旋轉式檢偏鏡插闆 ；反射用(yòng)幹涉濾色片組 ；高(gāo)精度測微尺 ；DIC 微分(fēn)幹涉組件 |
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